天门中大型真空等离子清洗机

 外形尺寸W×H×D)

560x600×420mm

660×700×560mm

660×700×560mm

反应腔尺寸

                                     Ø100×270mm

                                                                  Ø150X280mm

200X200X270

反应腔容量

2L

10L

反应腔体材

                                                                                      石英/进口不锈钢

真空泵

BOSl4L/S

角阀

北仪 超高真空40KF

真空显示规管

松下/SMC  ZSE30A

射频电源

德国进口 40KHZ 100KHZ  13.56MHZ  2.45GHZ

PLC系统

三菱  FX系列

电气系统

施耐德

触摸屏

松下4.3寸  显控

陶瓷封装

进口高频陶瓷

处理气体

O2、Ar2、N2、H2、CF4

输出功率

0-600W 可调