产品名称:中大型真空等离子产品
主要适用于
●等离子表面活化/清洗
●等离子处理后粘合;
●等离子蚀刻/活化;
●等离子去胶;
●等离子涂镀(亲水疏水);
●增强邦定性
●等离子涂覆
●等离子灰化和表面改性等大规模生产场合。
通过其处理,能够改善材料表面的浸润能力,
使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力
键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。
特点:高稳定性,长时间工作设计,可用于大规模连续生产。
●常用规格:按真空腔体容量分为:60L/100L/120L/150L/200L
中型立式离子机主要技术数据及规格
技术配置\设备型号 | HJ-PL60L | HJ-PL100L | HJ-PL120L | HJ-PL150L |
外形尺寸W×H×D) | 1150X880X1600 | 1300X930X1900 | ||
反应腔尺寸(可定制) | 400X400X400 | 500X500X450 | 500X500X500 | 500X500X600 |
反应腔体材 | 316不锈钢 | |||
真空泵 | BOSI 18L/S(干泵+罗茨组合),(油泵+罗茨组合) | |||
角阀 | youch超高真空60KF | |||
流量控制器及显示仪 | 赛瑟斯0-800ml/min | |||
真空显示规管及读取器 | 德国宝睿 | |||
射频电源 | 美国AE/COMDEL 40KHZ 100KHZ 13.56MHZ 2.45GHZ | |||
PLC系统 | 三菱(包括PLC,AD模组两组,DA模块两组,温度模块) | |||
电气系统 | 施耐德 | |||
变频器 | 西门子2KW | |||
触摸屏 | 西门子真彩10.7寸 | |||
陶瓷封装 | 进口高频陶瓷 | |||
处理气体 | O2、Ar2、N2、H2、CF4 | |||
输出功率 | 0-2000W 可调(可定制) |