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联系人：王先生
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Q Q：2528886093
微信：13543269361
邮箱：whj@szhjgd.com
网址：www.szhjgd.cn
地址：深圳市龙岗区平湖中联通泰工业园F栋三楼
主要适用于
●小规嗅生产、实验、科研及医学等领域
●特点:本系列成本低、精度高、实用
小型台式等离子机主要技术数据及规格
技术配置\设备型号 | HJ-PL02L | HJ-PL05L | HJ-PL10L |
外形尺寸W×H×D) | 560x600×420mm | 660×700×560mm | 660×700×560mm |
反应腔尺寸 | Ø100×270mm | Ø150X280mm | 200X200X270 |
反应腔容量 | 2L | 5L | 10L |
反应腔体材 | 石英/进口不锈钢 | ||
真空泵 | BOSl4L/S | ||
角阀 | 北仪 超高真空40KF | ||
真空显示规管 | 松下/SMC ZSE30A | ||
射频电源 | 德国进口 40KHZ 100KHZ 13.56MHZ 2.45GHZ | ||
PLC系统 | 三菱 FX系列 | ||
电气系统 | 施耐德 | ||
触摸屏 | 松下4.3寸 显控 | ||
陶瓷封装 | 进口高频陶瓷 | ||
处理气体 | O2、Ar2、N2、H2、CF4 | ||
输出功率 | 0-600W 可调 | ||
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