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真空等离子清洗机是运用低压气体辉光等离子体。一些非聚合性无机气体（Ar2、N2、H2、O2等）在高频低压下被激发，发生含有离子，经过等离子体的“活性”组分的性质来处理样品外表，然后实现清洁、涂覆等意图。在真空腔体里，给一组电极施以射频电压（频率约为几十兆赫兹），电极之间形成高频交变电场，区域内气体在交变电场的激荡下，发生高能量的无序的等离子体，活性等离子对被清洗物进行外表物理炮击与化学反应两层作用，使被清洗物外表物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，以到达清洗、活化、接枝等意图。
真空等离子清洗机技术优势：
1）清洗目标经等离子处理后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序；可以进步整个工艺流水线的处理功率。
2）选用无线电波规模的高频发生的等离子体的特点是方向性不强，这使得它可以深化到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成惯例清洗不能到达的清洗使命，能很好处理难清洗部位。
3）等离子技能，不需要对清洗液的运送、存储、排放等处理办法，所以生产场所很容易保持清洁卫生，体现设备高度环保性。
4）安全性能强，等离子清洗技能防止运用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会发生有害污染物，因此这种清洗办法归于环保的绿色清洗办法，使得用户可以远离有害溶剂对人体的损伤，一起也防止了湿法清洗中简单洗坏清洗目标的问题。
5）在真空等离子清洗技能还可以改进材料自身的外表性能。如提高外表的润湿性能、改进膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。
6）真空等离子清洗技能不分处理目标，它可以处理各式各样的原料，无论是金属、半导体、氧化物，仍是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以运用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的原料。并且还可以有挑选地对材料的整体、局部或杂乱结构进行部分清洗。工业超声波清洗机
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