等离子清洗机有哪几种清洗形式

        真空等离子清洗机

现在已经广泛运用的清洗方法首要有湿法清洗和干法清洗。湿法清洗的局限性非常大，从对环境的影响、原资料的耗费及未来的开展考虑，干法清洗要显着优于湿法清洗。其间开展较快和优势显着的是等离子体清洗。等离子体是指电离气体，是电子、离子、原子、分子或自由基等粒子组成的集合体 。清洗时高能电子磕碰反应气体分子，使之离解或电离，运用发生的多种粒子炮击被清洗外表或与被清洗外表发生化学反应，然后有用地铲除各种污染物；还可以改善资料本身的外表功用，如行进外表的润湿功用和改善膜的粘着力等，这在许多运用中都是非常重要的。经等离子清洗后器材外表是枯燥的，不需要再处理，可以行进整个工艺流水线的处理功率；可以使操作者远离有害溶剂的损伤；等离子可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部结束清洗，因此不需要过多考虑被清洗物件的形状；还可以处理各种质料，特别适宜不耐热以及不耐溶剂的质料。这些利益，都使等离子体清洗得到广泛重视。

等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。针对不同的清洗目标可选择O2、H2和Ar等艺气体进行短时间的外表处理。

1.1 化学反应为主的清洗

运用等离子体里的高活性自由基与资料外表的有机物等做化学反应，又称PE。选用氧气进行清洗，使非挥发性的有机物变成易挥发的形状，发生二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的利益是清洁速度高、选择性好和对清洗有机污染物比较有用， 首要缺陷是生成的氧化物可能在资料外表再次构成。在引线键合工艺中，氧化物是最不期望有的， 这些缺陷可以经过恰当选择工艺参数进行防止。

1.2 物理反应为主的清洗

运用等离子体里的离子做纯物理的碰击，把材 料外表附着的原子打掉，也称为溅射腐蚀（SPE）。 选用氩气进行清洗，氩离子以满足的能量炮击器 件外表，碰击力足以去除任何尘垢。聚合物中的 大分子化学键分别成小分子而汽化，经过真空泵排 出。一起经过氩等离子清洗后，可以改动资料外表 的微观形状，使资料在分子级范围内变得更加“粗 糙”， 可大幅改善外表活性，行进外表的粘结性 能。氩等离子的利益是拾掇资料外表不会留下任何 氧化物。缺陷是可能发生过量腐蚀或污染物颗粒重 新堆集在其他不期望的区域，但是这些缺陷可经过 细调工艺参数得到操控。

等离子表面清洗

1.3 物理化学反应一起存在的清洗

反应中物理反应与化学反应均起重要作用的 清洗。 如选用Ar和O2的混合气体进行在线式等离子清洗进程时，反应速率比单独运用Ar或O2都要快。氩离子被加快后，发生的动能又能行进氧离子的反应才干，因此用物理化学方法可铲除污染较为严峻的资料外表。